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ドラフトチャンバー

クリーンドラフト

サイズmm(W×D×H) TSP-120 1200×850×2100
TSP-150 1500×850×2100
TSP-180 1800×850×2100
素材 外装・内壁:硬質PVC
備考 CLEAN DRAFT
PVC製

クリーン供給装置を組込んだ
局所排気装置

半導体、化学産業などの精密エッチングや精密化学分析に必要なクリーン供給装置を組込ん局所排気装置。

■清浄度:ISOクラス5/FEDクラス100
■クリーン環境の中で酸性薬品を用いる実験・研究作業を行っても、発生する有毒ガスが漏洩することがなく、作業エリア内のクリーン環境は守られます。
■内装・外装ともPVC製ですので、腐食性薬品を使用する実験・研究作業に適しています。
■給気ファンは、薄型シロッコファンを採用しており、省スペースな設計です。
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ドラフトチャンバー一覧 DRAFT CHAMBER

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