エッチングチャンバー・半導体関連向け塩ビドラフトチャンバーの特注対応事例

 

こんにちは設計開発のMHです。

　過去製作したエッチングチャンバー・半導体関連向けの

塩ビドラフトチャンバーの製作事例をまとめてみました。

 

事例１：半導体洗浄工程用塩ビ製ドラフトチャンバー

　　　ハンドシャワー・エアガン・純水用水栓・洗浄用シンクを用いたドラフトチャンバーになります。

 

事例２：半導体洗浄工程用塩ビ製ドラフトチャンバー

　　　純水用水栓・洗浄用シンク・洗浄用エアーガンを用いたドラフトチャンバーになります。

　　　純水栓は5つあり、洗浄用シンクは２槽となっております。

 

事例３：半導体関連クリーンルーム用塩ビ製ドラフトチャンバー

 

　　　イエローLEDを設置した塩ビドラフトチャンバーを製作しました。

　感光材が反応する波長の光（紫外線などの500nm以下の短波）を遮断します。

　また、下台はケコミ式になっており椅子に座っての長時間作業にむいております

 

 

 

事例４：半導体エッチング工程用塩ビ製ドラフトチャンバー　（エッチングチャンバー）

 

　　　　　エッチング作業に最適な上台が傾斜している塩ビドラフトチャンバーになります。

　　　　こちらのドラフトチャンバーも下台ケコミ式になっております。

　　　　　また、ドラフト庫内に耐熱塩ビ板を遮熱板として設置しております。

 

〇弊社ではドラフトチャンバーの納入施工工事も行っております。

　納品施工工事については、こちらのブログ記事を参照ねがいます。

塩ビのダクト工事

排ガス洗浄装置納品施工と塩ビダクト施工工事しました

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